基本信息
| 标准名称： | 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 |
| 英文名称： | Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 微电路 >> 微电路综合 |
| ICS分类： | 电子学 >> 集成电路、微电子学 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-01-10 |
| 实施日期： | 2011-10-01 |
| 首发日期： | 2011-01-10 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院 |
| 起草人： | 丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-10-01 |
| 页数： | 16页 |
适用范围
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学